ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
Когда слышишь про турбомолекулярные насосы, первое, что приходит в голову — это что-то вроде ?вечный двигатель? для вакуумных систем. Но на практике даже у Pfeiffer или Edwards случаются заклинивания ротора после банального нарушения температурного режима. Вот о таких нюансах редко пишут в технической документации, но они определяют, проработает ли установка десять лет или выйдет из строя на первом же технологическом цикле.
Если разбирать старый ТМН-500, сразу видно, где производитель сэкономил — уплотнения вала из фторкаучука вместо витона, хотя для агрессивных сред это критично. Кстати, у китайских аналогов вроде тех, что поставляет ООО ?Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование?, часто встречается несоосность подшипниковых узлов. При монтаже приходится добавлять прокладки, хотя в паспорте про это — ни слова.
Запомнился случай на установке плазменного напыления: инженеры три месяца не могли выйти на стабильные 10?? мбар, пока не обнаружили микротрещину в патрубке между турбомолекулярным насосом и магниторазрядным модулем. Диагностировали старым методом — поочередно перекрывали сечения и следили за показаниями ионизационного манометра.
Совет тем, кто работает с восстановленными насосами: всегда проверяйте балансировку ротора на стенде. Однажды купили турбину с едва заметным дисбалансом — через 200 часов работы появилась вибрация, пришлось менять весь подшипниковый узел. Дороже вышло, чем брать новую.
В спецификациях пишут скорость откачки для азота, но в реальных системах часто преобладают водород или гелий. На атомно-слоевом осаждении столкнулись с тем, что ТМН не справлялся с пиковыми выбросами водорода — пришлось ставить дополнительный высоковакуумный насос с церий-гафниевым геттером.
Интересно, что китайские производители стали указывать кривые откачки для водорода — видимо, учли опыт эксплуатации в полупроводниковой отрасли. На сайте hen anbeijin.ru видел модели с акцентом на работу с легкими газами, но сам не тестировал.
Важный момент: при откачке ксенона или аргона падает КПД лопаток. Приходится либо увеличивать частоту вращения (риск раскрутки до критических оборотов), либо ставить форвакуумный насос с большим запасом производительности.
Самая частая — установка без термостатирования. Видел, как на гальванической линии смонтировали ТМН вплотную к печам отжига — через неделю деформировало корпус, появился люфт ротора. Пришлось вырезать теплоизоляционную прослойку и делать принудительный обдув.
Еще одна проблема — вибрации от форвакуумных насосов. Резиновые демпферы со временем ?просаживаются?, возникает резонанс. В цехах с вибронагруженным оборудованием лучше сразу ставить амортизаторы с гидравлическим демпфированием.
Коллеги с завода вакуумного оборудования как-то делились наблюдением: при использовании медных уплотнительных колец с покрытием часто происходит ?прихват? фланцев — особенно если система долго стоит без работы. Теперь всегда рекомендую наносить вакуумную смазку даже на антиадгезионные покрытия.
На отечественных установках типа УВН-74 часто ставят турбомолекулярные модули как апгрейд. Но есть нюанс — у старых фланцев отличается геометрия уплотнения, нужны переходные пластины. ООО ?Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование? как раз предлагает такие решения, но в их каталоге не указано соответствие ГОСТам.
Заметил, что импортные ТМН чувствительны к качеству охлаждающей воды — при жесткости выше 3 мг-экв/л начинается отложение солей в каналах статора. Приходится либо ставить умягчители, либо переходить на воздушное охлаждение, хотя оно менее эффективно при пиковых нагрузках.
Интересный опыт: на установке электронно-лучевой сварки комбинировали советский магниторазрядный насос НОРД-100 с современным турбомолекулярным — получилась surprisingly стабильная система. Правда, пришлось переделывать систему управления.
Сейчас активно продвигают турбомолекулярные насосы с магнитной левитацией, но их стоимость пока неоправданна для большинства производств. Криогенные насосы выигрывают в производительности, но требуют сложной инфраструктуры.
В нишевых применениях — например, в масс-спектрометрии — до сих пор используют ТМН с керамическими роторами, хотя их цена сравнима с стоимостью всей аналитической системы. Видимо, здесь играет роль традиция больше, чем техническая целесообразность.
Если говорить о трендах — китайские производители вроде тех, что представлены на henanbeijin.ru, постепенно догоняют лидеров по надежности. Но пока для критичных применений все же рекомендую проверенные бренды, хоть и дороже.
