ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
Криогенный вакуумный насос — это устройство, которое использует низкотемпературную поверхность (обычно ниже 20 К или -253 ℃) для конденсации и адсорбции молекул газа, создавая тем самым высокий или сверхвысокий вакуум.
Криогенный вакуумный насос — это устройство, которое использует низкотемпературную поверхность (обычно ниже 20 К или -253 ℃) для конденсации и адсорбции молекул газа, создавая тем самым высокий или сверхвысокий вакуум. Ниже представлен обзор его применения, характеристик и основных параметров.
Криогенные вакуумные насосы, благодаря своей способности создавать чистую, безмасляную среду высокого вакуума, широко используются в областях, требующих крайне высокого уровня загрязнения.
Полупроводниковая и электронная промышленность: используются в ключевых процессах, таких как производство микросхем, ионная имплантация и молекулярно-лучевая эпитаксия.
Исследования и высокотехнологичное производство: используются в приборах для анализа поверхности, исследовательском оборудовании для физики высоких энергий, моделировании космической среды и разработке передовых технологий, таких как сверхпроводящие материалы и квантовые вычисления.
Производство покрытий: основное оборудование в таких процессах, как нанесение оптических покрытий, покрытий для солнечных панелей и покрытий для плоских дисплеев.
Чистота и отсутствие масла: Принцип работы заключается в улавливании газов посредством низкотемпературной конденсации и адсорбции, предотвращая загрязнение вакуумной системы парами масла. Это делает его особенно подходящим для применений, требующих высокой чистоты.
Высокая скорость откачки и высокий вакуум: Высокая скорость откачки достигается для различных газов, особенно для водяного пара, что обеспечивает быстрое создание вакуума. Предельный уровень вакуума чрезвычайно высок, достигая 10⁻⁷ Па – 10⁻¹¹ Па.
Экономичная и надежная работа: По сравнению с другими высоковакуумными насосами, он потребляет меньше энергии. Корпус насоса не имеет движущихся частей, что обеспечивает стабильную работу и длительный срок службы (десятки тысяч часов при надлежащем обслуживании).
Гибкость монтажа: Не требует особых требований к ориентации при монтаже и может быть легко установлен в соответствии с потребностями оборудования.
Параметры значительно различаются в зависимости от модели крионасоса. Например, модель ULVAC CRYO-U10H имеет следующие типичные параметры:
Скорость откачки: около 2400 л/с для азота (N₂), около 3600 л/с для водорода (H₂) и до 6900 л/с для водяного пара (H₂O).
Предельный уровень вакуума: до 10⁻⁷ Па.
Время охлаждения: около 120 минут с момента запуска до выхода на нормальный режим работы.
Интервал технического обслуживания: рекомендуемый интервал технического обслуживания составляет около 16 000 рабочих часов.