ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
Криогенный вакуумный насос — это устройство, которое использует низкотемпературную поверхность (обычно ниже 20 К или -253 ℃) для конденсации и адсорбции молекул газа, создавая тем самым высокий или сверхвысокий вакуум. Ниже представлен обзор его применения, характеристик и основных параметров.
Криогенные вакуумные насосы, благодаря своей способности создавать чистую, безмасляную среду высокого вакуума, широко используются в областях, требующих крайне высокого уровня загрязнения.
Полупроводниковая и электронная промышленность: используются в ключевых процессах, таких как производство микросхем, ионная имплантация и молекулярно-лучевая эпитаксия.
Исследования и высокотехнологичное производство: используются в приборах для анализа поверхности, исследовательском оборудовании для физики высоких энергий, моделировании космической среды и разработке передовых технологий, таких как сверхпроводящие материалы и квантовые вычисления.
Производство покрытий: основное оборудование в таких процессах, как нанесение оптических покрытий, покрытий для солнечных панелей и покрытий для плоских дисплеев.
Чистота и отсутствие масла: Принцип работы заключается в улавливании газов посредством низкотемпературной конденсации и адсорбции, предотвращая загрязнение вакуумной системы парами масла. Это делает его особенно подходящим для применений, требующих высокой чистоты.
Высокая скорость откачки и высокий вакуум: Высокая скорость откачки достигается для различных газов, особенно для водяного пара, что обеспечивает быстрое создание вакуума. Предельный уровень вакуума чрезвычайно высок, достигая 10⁻⁷ Па – 10⁻¹¹ Па.
Экономичная и надежная работа: По сравнению с другими высоковакуумными насосами, он потребляет меньше энергии. Корпус насоса не имеет движущихся частей, что обеспечивает стабильную работу и длительный срок службы (десятки тысяч часов при надлежащем обслуживании).
Гибкость монтажа: Не требует особых требований к ориентации при монтаже и может быть легко установлен в соответствии с потребностями оборудования.
Параметры значительно различаются в зависимости от модели крионасоса. Например, модель ULVAC CRYO-U10H имеет следующие типичные параметры:
Скорость откачки: около 2400 л/с для азота (N₂), около 3600 л/с для водорода (H₂) и до 6900 л/с для водяного пара (H₂O).
Предельный уровень вакуума: до 10⁻⁷ Па.
Время охлаждения: около 120 минут с момента запуска до выхода на нормальный режим работы.
Интервал технического обслуживания: рекомендуемый интервал технического обслуживания составляет около 16 000 рабочих часов.
Сухой спиральный насос — это безмасляный сухой вакуумный насос, в котором используется зацепление вращающихся и неподвижных спиральных дисков, образующих серповидную компрессионную камеру.
Мембранный осушитель – это оборудование для удаления влаги из сжатого воздуха, использующее принцип избирательной проницаемости мембран.
Рефрижераторные осушители (обычно называемые «холодильные осушители») являются незаменимым оборудованием во многих отраслях промышленности. Они эффективно удаляют влагу из сжатого воздуха или других сред с помощью охлаждающей технологии.
Винтовой вакуумный насос с масляным уплотнением – это вакуумный насос объёмного типа, использующий масло в качестве уплотняющей среды.
Безмасляный воздушный компрессор представляет собой устройство для генерации сжатого воздуха, преобразующее механическую энергию электродвигателя в энергию давления газа.
Поршневой воздушный компрессор представляет собой объемный компрессор, в котором сжатие газа осуществляется за счет возвратно-поступательного движения поршня в цилиндре.
Частотно-регулируемый винтовой воздушный компрессор — это высокоэффективное энергосберегающее оборудование, которое посредством регулировки скорости вращения двигателя при помощи частотного преобразователя точно соответствует фактическим потребностям в сжатом воздухе.
Масляный диффузионный вакуумный насос использует высокоскоростную направленную струю масляных паров для откачки газов, обеспечивая высокий вакуум.
Проекты по рекуперации тепла направлены на сбор и повторное использование отработанного тепла, образующегося в промышленных процессах, что позволяет значительно повысить энергоэффективность.
Водокольцевой насос, также известный как водокольцевой вакуумный насос, представляет собой форвакуумный насос, работающий по принципу переменного рабочего объёма и также может выполнять функцию компрессора.
Пластинчато-роторный вакуумный насос — это механический вакуумный насос с масляным уплотнением, который откачивает газ через вращающиеся лопасти для создания вакуума.
Ионные насосы для распыления являются ключевым оборудованием для достижения чистого сверхвысокого вакуума (обычно достигая предельного уровня вакуума от 10⁻⁸ Па до 10⁻¹¹ Па).
Титановый сублимационный насос нагревает сублиматор, например, титановую проволоку или титановый шарик, электрическим током. Титан сублимируется и осаждается на корпусе насоса, охлаждаемом водой или жидким азотом. Образуется новая титановая пленка.
Осушитель с использованием тепла сжатия — это высокоэффективное и энергосберегающее оборудование для очистки сжатого воздуха.
Генератор азота — это устройство, которое физически отделяет азот от других газов, таких как кислород, в воздухе для получения азота.
Жидкостно-кольцевой вакуумный насос (обычно называемый водокольцевым вакуумным насосом) — это вакуумный насос грубой очистки, работающий с использованием жидкости (обычно воды) для образования герметичного жидкостного кольца.
