ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
Титановый сублимационный насос нагревает сублиматор, например, титановую проволоку или титановый шарик, электрическим током. Титан сублимируется и осаждается на корпусе насоса, охлаждаемом водой или жидким азотом. Образуется новая титановая пленка.
Титановый сублимационный насос нагревает сублиматор, например, титановую проволоку или титановый шарик, электрическим током. Титан сублимируется и осаждается на корпусе насоса, охлаждаемом водой или жидким азотом. Образуется новая титановая пленка. Эта пленка вступает в необратимую химическую реакцию с химически активными газами, такими как азот, кислород и оксид углерода, образуя стабильные соединения (например, нитрид и оксид титана), эффективно улавливая эти газы.
Чистота и отсутствие загрязнения: насос работает полностью без использования масла, что предотвращает загрязнение вакуумной системы парами масла и делает его идеальным для прецизионных экспериментов и анализа.
Отсутствие вибрации и шума: отсутствие движущихся частей обеспечивает бесшумную работу без вибраций.
Низкие эксплуатационные расходы, длительный срок службы: при нормальных условиях эксплуатации насос может проработать десятки тысяч часов. Более того, даже случайное воздействие атмосферного воздуха во время работы, как правило, не приводит к повреждениям.
Требуется форвакуумный насос: из-за высокого начального давления (обычно в диапазоне 10⁻² Па) необходимо использовать форвакуумный насос, например, пластинчато-роторный, для предварительного создания низкого вакуума в системе перед запуском.
Начальное давление: 1 × 10⁻² Па
Диапазон рабочего давления: обычно от 10⁻² Па до 10⁻⁸ Па, может достигать 10⁻¹² мбар.
Предельный вакуум: зависит от типа форвакуумного насоса. При использовании механического форвакуумного насоса максимальный вакуум может достигать 10⁻⁴ мбар. 10⁻⁵ Па. Используя турбомолекулярный насос для предварительной откачки, можно достичь сверхвысокого вакуума от 10⁻⁷ до 10⁻⁸ Па и даже выше.
Способ охлаждения: Корпус насоса обычно охлаждается водой или жидким азотом. При использовании жидкого азота производительность откачки обычно в 1–4 раза выше, чем при водяном охлаждении.
Титановые сублимационные насосы благодаря своей превосходной производительности откачки широко используются во многих передовых научных областях, требующих чистой сверхвысоковакуумной среды:
Физика высоких энергий: например, ускорители частиц и Пекинский электрон-позитронный коллайдер
Управляемые термоядерные реакции: например, экспериментальные установки для ядерного синтеза
Моделирование космической среды: моделирование вакуума в космосе
Науки о поверхности: приборы для анализа поверхности
Полупроводниковая промышленность: достижение безмасляного высокого вакуума при производстве микросхем, нанесении вакуумных покрытий и других процессах