ООО Хэнань Бэйцзинь Электромеханическое Оборудование
1021, 10 этаж, Корпус Б, Комплекс «Цзянъе Кайсюань», ул. Хуаюань, 122, район Цзиньшуй, г. Чжэнчжоу, пров. Хэнань, Китай
Ионные насосы для распыления являются ключевым оборудованием для достижения чистого сверхвысокого вакуума (обычно достигая предельного уровня вакуума от 10⁻⁸ Па до 10⁻¹¹ Па).
Ионные насосы для распыления являются ключевым оборудованием для достижения чистого сверхвысокого вакуума (обычно достигая предельного уровня вакуума от 10⁻⁸ Па до 10⁻¹¹ Па).
Они широко используются в научных исследованиях и промышленных приложениях, требующих безмасляной, чистой вакуумной среды, например, в ускорителях частиц, электронных микроскопах, приборах для анализа поверхности, оборудовании для электронно-лучевой литографии и оборудовании для моделирования космических процессов.
Чистота и отсутствие загрязнения: насос работает полностью без использования масла, что предотвращает загрязнение вакуумной системы парами масла и делает его идеальным для прецизионных экспериментов и анализа.
Отсутствие вибрации и шума: отсутствие движущихся частей обеспечивает бесшумную работу без вибраций.
Низкие эксплуатационные расходы, длительный срок службы: при нормальных условиях эксплуатации насос может проработать десятки тысяч часов. Более того, даже случайное воздействие атмосферного воздуха во время работы, как правило, не приводит к повреждениям.
Требуется форвакуумный насос: из-за высокого начального давления (обычно в диапазоне 10⁻² Па) необходимо использовать форвакуумный насос, например, пластинчато-роторный, для предварительного создания низкого вакуума в системе перед запуском.
| Категория параметров | Типичные характеристики/диапазон | Ссылки |
| Предельный вакуум | ≤ 5,0×10⁻⁸ Па, с превосходными структурами, достигающими 10⁻⁹ Па или даже 10⁻¹¹ Па | |
| Начальное давление | Приблизительно 10⁻² Па | |
| Скорость откачки | Обычные характеристики включают 5 л/с, 25 л/с, 50 л/с и 100 л/с, которые можно увеличить путем параллельного соединения устройств. | |
| Рабочее напряжение | Высокое постоянное напряжение, обычно в диапазоне от 3 кВ до 7 кВ | |
| Напряженность магнитного поля | 1000–3000 Гс | |
| Характеристики откачки газа | Высокая скорость откачки для химически активных газов (таких как N₂ и O₂); относительно низкая для инертных газов (таких как Ar), но улучшенные модели (например, триодные и AU-типа) могут увеличить скорость откачки. |